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Praxiswissen Mikrosystemtechnik


Praxiswissen Mikrosystemtechnik
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Praxiswissen Mikrosystemtechnik


Praxiswissen Mikrosystemtechnik
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Author : Friedemann Völklein
language : de
Publisher: Springer-Verlag
Release Date : 2008-10-08

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1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der Erfindung des Transistors (1948) und der Herstellung erster integrierter Schaltungen auf der Basis des Halbleitermaterials Silizium (1958) begann eine technische Revolution, die mit ihren Ergebnissen und Produkten inzwischen in fast alle Lebensbereiche unserer Gesellschaft hineinwirkt. Ohne die Erfolge der Mikroelektronik wäre die moderne Informations- und Kommunikationstechnik, die inzwischen die Berufswelt vieler Menschen wesentlich verändert hat, nicht denkbar. Das gilt auch für andere Bereiche wie z. B. die Me- zin-, die Verkehrs- und die Produktionstechnik. Der große technologische Fortschritt der Mikroelektronik beruht auf Miniaturisierung und Integration. Vor der Mikroelektronik wurden elektrische/elektronische Schaltungen aus - chanisch gefertigten Bauteilen wie Kondensatoren, Widerständen oder Elektronenröhren - sammengefügt und individuell abgeglichen. Aufgrund der Größe der Bauelemente war der Platzbedarf und das Gewicht hoch, die Packungs- und Funktionsdichte gering. Durch die - kroelektronik wandelte sich die Fertigung elektronischer Systeme grundlegend. Die B- elemente einer Schaltung wurden nun durch photolithographische Strukturierung und durch Schichttechnologien auf einem gemeinsamen Halbleiter-Substrat, dem Siliziumwafer, erzeugt.



Mikrosystemtechnik


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Author : Stephanus Büttgenbach
language : de
Publisher: Springer-Verlag
Release Date : 2016-11-01

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Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.



Mikrosystemtechnik


Mikrosystemtechnik
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Author : Ulrich Mescheder
language : de
Publisher: Springer-Verlag
Release Date : 2013-03-08

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Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.



Development Manufacturing And Characterization Of Stacked Mesa Photodiodes


Development Manufacturing And Characterization Of Stacked Mesa Photodiodes
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Author : Fabian Florek
language : en
Publisher: Cuvillier Verlag
Release Date : 2016-09-13

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Diese Arbeit untersucht das Konzept von gestapelten Fotodioden basierend auf einem MESA Prozess. Eine Fotodiode mit einer vertikalen MESA Struktur ist eine neue Herangehensweise für die Detektion von farbigem Licht. Die Ergebnisse dieser Arbeit zeigen, dass ein Sensor zur Farbdetektion, basierend auf einer MESA Struktur, möglich ist. Durch chemische Gasphasenabscheidungen wird ein n-i-p-n-i-p Stapel gewachsen, der sehr dünne p-n Übergänge besitzt. Danach werden die unterschiedlichen p-i-n Dioden mit Hilfe eines neu entwickelten Ätzprozesses separat kontaktiert. Eine freistehende MESA Struktur wird dadurch erzeugt, dass alle überflüssigen Teile der Struktur durch einen hochselektiven RIE Ätzprozess entfernt werden. Diese neu geschaffene Struktur wird dann mit einer Passivierung und Metallkontakten versehen. Dadurch ist es möglich, sehr dünne und separat kontaktierte p-n Übergänge zu schaffen. Die hergestellten Prototypen wurden einzeln und gleichzeitig spektral vermessen um eine spektrale Antwort der Dioden zu erhalten. Diese spektrale Antwort wurde durch Simulationen sowie theoretische Berechnungen bestätigt.



Materials Science And Technology


Materials Science And Technology
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Author : Sabar Hutagalung
language : en
Publisher: BoD – Books on Demand
Release Date : 2012-03-07

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Materials are important to mankind because of the benefits that can be derived from the manipulation of their properties, for example electrical conductivity, dielectric constant, magnetization, optical transmittance, strength and toughness. Materials science is a broad field and can be considered to be an interdisciplinary area. Included within it are the studies of the structure and properties of any material, the creation of new types of materials, and the manipulation of a material's properties to suit the needs of a specific application. The contributors of the chapters in this book have various areas of expertise. therefore this book is interdisciplinary and is written for readers with backgrounds in physical science. The book consists of fourteen chapters that have been divided into four sections. Section one includes five chapters on advanced materials and processing. Section two includes two chapters on bio-materials which deal with the preparation and modification of new types of bio-materials. Section three consists of three chapters on nanomaterials, specifically the study of carbon nanotubes, nano-machining, and nanoparticles. Section four includes four chapters on optical materials.



Advanced Mechatronics And Mems Devices


Advanced Mechatronics And Mems Devices
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Author : Dan Zhang
language : en
Publisher: Springer Science & Business Media
Release Date : 2012-09-14

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Advanced Mechatronics and MEMS Devicesdescribes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. The evolution of design in microfabrication, as well as emerging issues in nanomaterials, micromachining, micromanufacturing and microassembly are all discussed at length in this volume. Advanced Mechatronics also provides a reader with knowledge of MEMS sensors array, MEMS multidimensional accelerometer, artificial skin with imbedded tactile components, as well as other topics in MEMS sensors and transducers. The book also presents a number of topics in advanced robotics and an abundance of applications of MEMS in robotics, like reconfigurable modular snake robots, magnetic MEMS robots for drug delivery and flying robots with adjustable wings, to name a few.



Entwicklung Von Kunststoff Mikroventilen Im Batch Verfahren


Entwicklung Von Kunststoff Mikroventilen Im Batch Verfahren
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Author : Thomas Grund
language : de
Publisher: KIT Scientific Publishing
Release Date : 2014-10-16

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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.



Modular Adaptive Mikrooptische Systeme In Kombination Mit Mikroaktoren Ein Mikrooptisches System Auf Der Basis Mikrooptischer B Nke


Modular Adaptive Mikrooptische Systeme In Kombination Mit Mikroaktoren Ein Mikrooptisches System Auf Der Basis Mikrooptischer B Nke
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Author : Sven Schüle
language : de
Publisher: KIT Scientific Publishing
Release Date : 2010

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Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.



Entwicklung Eines Mikrofluidischen Zweikammer Chipsystems Mit Integrierter Sensorik Fuer Die Anwendung In Der Tumorforschung


Entwicklung Eines Mikrofluidischen Zweikammer Chipsystems Mit Integrierter Sensorik Fuer Die Anwendung In Der Tumorforschung
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Author : Rajabi, Taleieh
language : de
Publisher: KIT Scientific Publishing
Release Date : 2014-08-27

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Für die Untersuchung des hämatogenen Metastasierungsprozesses wurde ein mikrofluidischer Zweikammer-Chip aus Polycarbonat (PC) entwickelt, der als künstliches Blutgefäß für die mikroskopische Untersuchung von Adhäsions- und Migrationsvorgängen von Tumorzellen (Melanomzellen) auf humanen Endothelzellen unter Flussbedingungen angewandt wurde. Zusätzlich wurde die endotheliale Barrierefunktion mittels Electric Cell-Substrate Impedance Sensing (ECIS) detektiert und quantifiziert.



Mechatronik


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Author : Horst Czichos
language : de
Publisher: Springer-Verlag
Release Date : 2019-06-27

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Dieses Lehrbuch beschreibt mit aussagekräftigen Wort-Bild-Graphik-Kombinationen kurz und prägnant die Grundlagen und zeigt aktuelle Anwendungen von mechatronischen Systemen. Erstmalig wird dabei durchgängig eine „ganzheitlich-systemtechnische" Behandlung mechatronischer Systeme vorgenommen. Die neue Auflage wurde durch den Buchteil „Mechatronik und Internet-Kommunikation“ mit den Kapiteln Cyber-physische Systeme und Industrie 4.0 aktualisiert und erweitert.